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衬底洗净装置 

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申请/专利权人:株式会社斯库林集团

摘要:本发明涉及一种衬底洗净装置。本发明的衬底洗净装置的旋转保持部保持衬底下表面中央部而旋转。第1及第2直动保持部分别保持衬底下表面周缘部的相互对向的第1及第2区域,且在平行于第1方向的方向往复移动。下表面洗净器在由第1及第2直动保持部保持衬底时洗净衬底下表面中央部,在由旋转保持部将衬底保持及旋转时洗净衬底下表面周缘部。第1直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第1区域的多个第1吸附垫;第2直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第2区域的多个第2吸附垫。

主权项:1.一种衬底洗净装置,具备:旋转保持部,保持衬底下表面中央部而旋转;第1及第2直动保持部,分别保持衬底下表面周缘部的相互对向的第1及第2区域,且在平行于第1方向的方向往复移动;以及下表面洗净器,在由所述第1及第2直动保持部保持衬底时,洗净所述衬底下表面中央部,在由所述旋转保持部将衬底保持及旋转时,洗净所述衬底下表面周缘部;以及外壳,具有形成内部空间的侧壁部、上板部以及底板部,所述上板部固定于所述侧壁部;且所述旋转保持部、所述第1直动保持部、所述第2直动保持部及所述下表面洗净器设置于所述外壳的所述内部空间;所述第1直动保持部包含多个第1吸附垫,所述多个第1吸附垫通过吸引而保持所述衬底的所述第1区域;所述第2直动保持部包含多个第2吸附垫,所述多个第2吸附垫通过吸引而保持所述衬底的所述第2区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社斯库林集团 衬底洗净装置

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