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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明公开了一种倒置负载应用的正交解耦三轴纳米微动平台，属于纳米微动平台技术领域，包括动子平台，所述动子平台与多个单轴驱动单元连接，多个单轴驱动单元呈正交布置；所述单轴驱动单元包括与动子平台连接的柔性导向梁，柔性导向梁与压电陶瓷致动器连接；所述压电陶瓷致动器包括非对称刚度柔性结构，非对称刚度柔性结构与压电陶瓷固定连接。该装置可以实现空间正交的三自由度XYZ的倒置负载下高一致性的超高精度微运动，其是负载倒置应用的超精密定位与空间扫描的三维纳米微动机构。
主权项：1.一种倒置负载应用的正交解耦三轴纳米微动平台，其特征是，包括动子平台，所述动子平台与三个单轴驱动单元连接，三个单轴驱动单元呈正交布置；所述单轴驱动单元包括与动子平台连接的柔性导向梁，柔性导向梁与压电陶瓷致动器连接；所述压电陶瓷致动器包括非对称刚度柔性结构，非对称刚度柔性结构与压电陶瓷固定连接；所述非对称刚度柔性结构一侧为强刚度结构，另一侧为弱刚度结构，所述压电陶瓷置于强刚度结构和弱刚度结构之间；所述强刚度结构为直梁型铰链，直梁型铰链形成旋转运动副；所述弱刚度结构为弯折型弹簧铰链；所述非对称刚度柔性结构中间位置具有容置空间，压电陶瓷安装于其容置空间内；所述压电陶瓷一端粘接柔性转接件；所述柔性导向梁一端对称安装在动子平台两侧，另一端与非对称刚度柔性结构连接；三个单轴驱动单元的柔性导向梁呈空间正交布置；柔性导向梁在非对称刚度柔性结构两侧成对平行布置；所述动子平台在空间正交方向的两两对称面设置导向槽以供柔性导向梁沿其运动；所述单轴驱动单元固定于固定壳体，固定壳体在对应单轴驱动单元的底部设置定位面，固定壳体与非对称刚度柔性结构固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种倒置负载应用的正交解耦三轴纳米微动平台
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