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基板固定装置 

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申请/专利权人:吉光半导体(绍兴)有限公司

摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种基板固定装置,底板组件、压板以及盖板组件;所述底板组件用于放置基板;所述压板位于所述底板组件与所述盖板组件之间;所述压板上具有多个凸起;所述盖板组件与所述底板组件连接,且所述盖板组件为所述压板施加作用力,以使得各所述凸起将所述基板压于所述底板组件;各所述凸起被配置为:所述基板放置于所述底板组件时,至少一部分所述凸起绕所述基板设置并压于所述基板的边沿。如此配置,该固定装置通过在压板上设置多个凸起,多个凸起沿所述AMB陶瓷基板的边沿对其进行施压,各凸起的压紧力较大,利于减小在焊接过程中AMB陶瓷基板的形变量,达到降低翘曲的目的。

主权项:1.一种基板固定装置,其特征在于,包括:底板组件、压板以及盖板组件;所述底板组件用于放置基板;所述压板位于所述底板组件与所述盖板组件之间;所述压板上具有多个凸起;所述盖板组件与所述底板组件连接,且所述盖板组件为所述压板施加作用力,以使得各所述凸起将所述基板压于所述底板组件;各所述凸起被配置为:所述基板放置于所述底板组件时,至少一部分所述凸起绕所述基板设置并压于所述基板的边沿。

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权利要求:

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