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一种高洁净高真空高压热处理装置 

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申请/专利权人:合肥科晶材料技术有限公司

摘要:本发明公开了一种高洁净高真空高压热处理装置,包括炉体和炉门,通过炉体中部的炉腔放置需要热处理的晶体物料,通过设置在炉腔周侧的第一加热炉胆、氧化铝炉胆、第二加热炉胆将炉腔内的晶体物料高温烧结,炉门与炉体之间通过氟胶密封圈密封,避免炉腔内的热量散失,通过在炉门内设置不锈钢水冷腔体,以冷却炉门,避免氟胶密封圈受热变形,延长密封圈的使用寿命,通过在水冷腔体两侧设置进水口和出水口连通,从进水口向水冷腔体内通入冷水对炉门进行冷却,并且冷水从出水口流出并循环使用,实现对炉门的持续降温,通过在炉门与炉腔之间安装由氧化铝布缝制的管堵,以阻隔炉腔向炉门方向的热传递,进一步减少炉腔内的热量散失。

主权项:1.一种高洁净高真空高压热处理装置,其特征在于,包括炉体1和铰接在炉体1上的炉门2,炉体1中部设有炉腔11,以放置需要热处理的晶体物料,炉腔11周侧包覆有第一加热炉胆12,以将炉腔11内的晶体物料高温烧结;炉门2设置在炉腔11正面,炉门2与炉体1之间通过氟胶密封圈21密封,炉门2内具有不锈钢水冷腔体22,以冷却炉门2,避免氟胶密封圈21受热变形,水冷腔体22分别与设置在炉门2两侧的进水口23和出水口24连通,以使在炉门温度超过预设阈值时,从进水口23向水冷腔体22内通入冷水对炉门2进行冷却,冷水从出水口24流出并循环使用。

全文数据:

权利要求:

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