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一种硅片规整设备 

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申请/专利权人:天津环博科技有限责任公司

摘要:本发明创造提供了一种硅片规整设备,包括箱体,通过横移组件安装在箱体内的弹夹、以及用于对弹夹上的硅片进行规整的规整机械手;所述横移组件安装在箱体底部,所述弹夹通过弹夹横移座安装在横移组件上,所述规整机械手安装在箱体侧壁上位于弹夹两侧。本发明创造所述的硅片规整设备,通过两组规整机械手配合将硅片进行规整,通过横移设备将弹夹移动至硅片处,硅片插接进弹夹,便于机械手取走弹夹对硅片进行清洗。

主权项:1.一种硅片规整设备,其特征在于:包括箱体1,通过横移组件安装在箱体1内的弹夹2、以及用于对弹夹2上的硅片进行规整的规整机械手3;所述横移组件安装在箱体1底部,所述弹夹2通过弹夹横移座21安装在横移组件上,所述规整机械手3安装在箱体1侧壁上位于弹夹2两侧;通过两组规整机械手3配合将硅片进行规整,通过横移组件将弹夹2移动至硅片处,硅片插接进弹夹2,以使机械手取走弹夹2对硅片进行清洗;所述规整机械手3设有两组,所述箱体1两侧壁对称设有台架30,两组规整机械手3通过竖移杆37升降安装在台架30上;两组规整机械手3结构相同,每组规整机械手3包括安装座32,安装座32底部四角安装有竖移杆37,台架30上安装有液压升降机,液压升降机贯穿台架30台面与安装座32底部固定连接,台架30台面的四角设有与竖移杆37相对应的移杆孔,四个竖移杆37分别安装在移杆孔内;每组规整机械手3还包括驱动电机31、滑杆33、夹板36,所述滑杆33安装在安装座32上,所述安装座32侧壁开有两个第一通孔,所述滑杆33设有两个,两个滑杆33一端贯穿第一通孔后通过转接板35与夹板36连接,滑杆33另一端通过挡板34连接;所述安装座32侧壁上还设有第二通孔,第二通孔内安装有丝杠,丝杠一端贯穿第二通孔后连接有第一驱动轮,所述挡板34上设有第三通孔,第三通孔内安装有丝杠螺母,丝杠的另一端则贯穿丝杠螺母;所述安装座32顶部设有安装板,驱动电机31安装在安装板上,驱动电机31转轴端连接有第二驱动轮,第二驱动轮通过第一传送带与第一驱动轮连接;所述横移组件包括横移电机4、第二传送带41、第二齿轮42、第三传送带44、第三齿轮43,所述箱体1一端设有电机安装座,所述横移电机4安装在电机安装座上,横移电机4一端连接有第一齿轮,箱体1底部设有多个转轴安装座,转轴安装座上安装有转轴,转轴一端与第二齿轮42连接,所述第二齿轮42与第一齿轮通过第二传送带41连接,箱体1底部远离转轴安装座一端设有齿轮安装座45,所述第三齿轮43安装在齿轮安装座45上,所述转轴中间位置安装有第四齿轮,第四齿轮与第三齿轮43通过第三传送带44连接。

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