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气压传感器及其制备方法 

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申请/专利权人:鹏城实验室

摘要:本发明公开一种气压传感器及其制备方法,其中,气压传感器包括外框架和电路板;外框架内形成具有开口的空腔;电路板上设有多个间隔设置的气压芯片,电路板设有气压芯片的一侧表面设有与外框架同类材质的粘胶,外框架通过粘胶与电路板连接;结合后气压芯片与空腔相连通,气压芯片监测空腔内部的气压变化以检测外框架的外部载荷变化。本发明技术方案实现外框架和电路板连接的有效密封,避免了二者之间出现间隙,提高了二者连接的紧密性和稳定性,提高了气压传感器的分辨率、灵敏度,并且量程可调。

主权项:1.一种气压传感器,其特征在于,包括:外框架10,所述外框架10内形成具有开口的空腔11;和电路板30,所述电路板30上设有多个间隔设置的气压芯片31,所述电路板30设有所述气压芯片31的一侧表面设有与所述外框架10同类材质的粘胶50,所述外框架10通过所述粘胶50与所述电路板30连接;结合后所述气压芯片31与所述空腔11相连通,所述气压芯片31监测所述空腔11内部的气压变化以检测所述外框架10的外部载荷变化。

全文数据:

权利要求:

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