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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明涉及原版、确定原版的图案的方法、曝光方法、以及制造物品的方法。原版包括图案，所述图案被形成以用于在感光材料的曝光中使用，所述感光材料被部署在多层膜的上侧，所述多层膜被提供在基板上，其中所述图案包括主图案和辅助图案，所述辅助图案被部署在与所述主图案分开预定的间隔的位置处，并且其中所述辅助图案抑制形成有所述主图案的所述感光材料的侧壁部分的倾斜表面上的凹凸不平。
主权项：1.一种包括图案的原版，所述图案被形成以用于在感光材料的曝光中使用，所述感光材料被部署在多层膜的上侧，所述多层膜被提供在基板上，其中所述图案包括主图案和辅助图案，所述辅助图案被部署在与所述主图案分开预定的间隔的位置处，并且其中所述辅助图案抑制形成有所述主图案的所述感光材料的侧壁部分的倾斜表面上的凹凸不平。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 原版、确定原版的图案的方法、曝光的方法、以及制造物品的方法
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