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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种曝光机前端系统，包括具有容纳室的外壳主体，所述外壳主体内集成有基材装载模块，所述基材装载模块包括取料单元和收料单元，所述取料单元和收料单元间隔分布在所述外壳主体内部同侧；基材预对准模块，所述基材预对准模块位于所述取料单元和收料单元之间；以及基材输送模块，所述基材输送模块与所述基材装载模块相对设置，所述基材输送模块包括基材搬运机构，所述基材搬运机构可沿既定的轨迹及距离进行运动，使基材在所述取料单元、基材预对准模块以及收料单元之间传递运输。实现面板基材的取料、收料、输送、预对准及搬运的一体化；且一次性取放两片基材进行曝光作业，提高了整体的生产效率。
主权项：1.一种曝光机前端系统，其特征在于，包括具有容纳室的外壳主体100，所述外壳主体100内集成有：基材装载模块，用于待曝光作业的取片和曝光完成的收片，所述基材装载模块包括取料单元200和收料单元300，所述取料单元200和收料单元300间隔分布在所述外壳主体100内部同侧；基材预对准模块400，用于对待曝光作业的基材进行位置定位，所述基材预对准模块400位于所述取料单元200和收料单元300之间；以及基材输送模块500，所述基材输送模块500与所述基材装载模块相对设置，所述基材输送模块500包括基材搬运机构530，所述基材搬运机构530可沿既定的轨迹及距离进行运动，使基材在所述取料单元200、基材预对准模块400以及收料单元300之间传递运输。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种曝光机前端系统
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