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信息处理装置、曝光装置、以及物品制造方法 

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申请/专利权人:佳能株式会社

摘要:为了提供能够考虑用于抑制在曝光装置中提供的光学系统的温度变化的控制来获得该光学系统的光学特性的变化量的信息处理装置,根据本发明的信息处理装置被配置为通过将光学系统的目标温度输入到学习模型来预测光学系统的光学特性的变化量。

主权项:1.一种信息处理装置,所述信息处理装置被配置为通过将曝光装置中提供的光学系统的目标温度输入到学习模型来预测所述光学系统的光学特性的变化量。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 佳能株式会社 信息处理装置、曝光装置、以及物品制造方法

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