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申请/专利权人：北京理工大学

摘要：本申请公开了一种非周期大尺寸全息光学元件稳定曝光系统及方法，该系统包括：全息光学元件曝光子系统和条纹锁定子系统。全息光学元件曝光子系统产生用于记录非周期大尺寸全息光学元件的各记录光束波前，并将所述记录光束波前的干涉条纹记录到全息材料中。条纹锁定子系统包括参考元件、探测单元、控制单元和补偿单元，参考元件将用于记录全息光学元件的干涉条纹的漂移转化为周期可调且近平行的参考条纹的漂移，探测单元获取包含参考条纹漂移量信息的光信号，所述信号传输到控制单元，控制单元通过PID算法控制补偿单元对记录光束相位进行补偿，该系统保持各记录光束波前的相对相位不变，实现非周期大尺寸全息光学元件的长时间稳定曝光。

主权项：1.非周期大尺寸全息光学元件稳定曝光系统，其特征在于，包括：全息光学元件曝光子系统100和条纹锁定子系统200，其中，所述全息光学元件曝光子系统100产生用于记录非周期大尺寸全息光学元件的各记录光束波前，并将所述记录光束波前的干涉条纹记录到全息材料中，所述全息光学元件曝光子系统100包括：第一激光器101a、第二激光器101b、第三激光器101c、第一快门102a、第二快门102b、第三快门102c、第一合束镜103a、第二合束镜103b、第一半波片104a、第二半波片104b、偏振分光棱镜105、第一针孔滤波器106a、第二针孔滤波器106b、第一波前调制组件107a、第二波前调制组件107b、第一反射镜108a、第二反射镜108b、第三反射镜108c、第四反射镜108d、全息光学元件固定元件109以及全息记录材料110，所述第一快门102a、所述第二快门102b和所述第三快门102c分别控制所述第一激光器101a、所述第二激光器101b和所述第三激光器101c发出激光的通断，所述第一合束镜103a和所述第二合束镜103b用于将所述激光合束，所述第一半波片104a用于调节通过所述偏振分光棱镜105两束记录光束的光强比，所述第二半波片104b用于将所述各记录光束的偏振方向调节为一致状态，所述第一针孔滤波器106a和所述第二针孔滤波器106b分别对所述两束记录光束进行滤波，所述第一波前调制组件107a和所述第二波前调制组件107b将所述记录光束调制为加工全息光学元件所需的波前，所述各记录光束位于所述全息记录材料110的同侧或异侧，所述全息记录材料110由所述全息光学元件固定元件109固定，并记录下所述波前形成的干涉条纹。所述条纹锁定子系统200用于保持所述各记录光束波前的相对相位不变，确保所述干涉条纹在全息光学元件曝光期间由于环境因素产生的漂移能够被严格补偿。所述条纹锁定子系统200包括：参考元件201、探测单元202、控制单元203和补偿单元204，所述参考元件201将所述用于记录全息光学元件的干涉条纹的漂移转化为参考条纹的漂移，所述探测单元202获取包含所述参考条纹漂移量信息的光信号，所述光信号传输到所述控制单元203，所述控制单元203用于控制条纹锁定子系统200运行和输出补偿信号，所述补偿单元204根据所述补偿信号对记录光束相位进行补偿。

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权利要求：

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