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申请/专利权人：亚太优势微系统股份有限公司
摘要：一种应力感测元件，包含第一硅元件层、第二硅元件层、基板连接层，及基板。该第一硅元件层具有悬膜区及至少一用于感测该悬膜区的应力变化的应力感测单元，该第二硅元件层连接于该第一硅元件层的底面，包含凸块单元，及位于该悬膜区外侧的外框，且该凸块单元与该外框以间隙相隔开。该基板连接层位于该外框反向该第一硅元件层的表面。该基板经由该基板连接层与该外框连接，并具有至少一贯通该基板并与该间隙连通的开孔。借此，提供一种具有良好感测特性的应力感测元件。
主权项：1.一种应力感测元件，其特征在于：包括：第一硅元件层，具有彼此反向的表面及底面，包含悬膜区，及至少一用于感测该悬膜区的应力变化的应力感测单元；第二硅元件层，连接于该第一硅元件层的底面，包含凸块单元，及位于该悬膜区外侧的一外框，且该凸块单元与该外框以间隙相隔开；基板连接层，位于该外框反向该第一硅元件层的表面；及基板，经由该基板连接层与该外框连接，具有贯通该基板并与该间隙连通的至少一个开孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 亚太优势微系统股份有限公司 应力感测元件
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