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申请/专利权人:中央硝子株式会社
摘要:本发明的带图案膜基板的制造方法包含:对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗,得到第一带图案膜基板的清洗工序,其中,所述带图案膜基板在基板上形成有具有图案的图案膜;及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序,通过上述清洗工序,上述第一带图案膜基板的图案膜的接触角减小,通过上述加热工序,上述第二带图案膜基板的图案膜的接触角得到恢复。
主权项:1.一种带图案膜基板的制造方法,其包含:对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗,得到第一带图案膜基板的清洗工序,其中,所述带图案膜基板在基板上形成有具有图案的图案膜;及加热所述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序,通过所述清洗工序,所述第一带图案膜基板的图案膜的接触角减小,通过所述加热工序,所述第二带图案膜基板的图案膜的接触角得到恢复。
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权利要求:
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