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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的目的在于提升基板处理装置以及基板处理系统的各个处理单元中的处理的精度。基板处理装置具有多个处理单元、搬运单元、多个传感器部、存储部以及一个以上的控制单元。多个处理单元根据规定处理的条件的规程对基板实施处理。搬运单元将一组基板中的多个基板依次搬运至多个处理单元。多个传感器部取得关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号。存储部基于多个传感器部所取得的信号，存储关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组。一个以上的控制单元针对使用一个以上的处理单元对一组基板中的至少一片以上的基板进行的处理，基于数据组修正规程的至少一部分。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，具有：多个处理单元，根据用以规定处理的条件的规程对基板实施处理；搬运单元，将一组基板中的多个基板依次搬运至多个所述处理单元；多个传感器部，取得关于各个所述处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号；存储部，基于多个所述传感器部所取得的信号，存储数据库，该数据库储存关于多个所述处理单元各自的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组；以及一个以上的控制单元，针对使用多个所述处理单元中的一个以上的处理单元对一组所述基板中的至少一个以上的基板进行的处理，基于所述数据组来修正所述规程的至少一部分，一个以上的所述控制单元针对使用多个所述处理单元中的一部分的处理单元对一组所述基板中的一部分的基板进行的处理，基于所述数据组来修正所述规程的至少一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理系统
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