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申请/专利权人：株式会社尤金科技
摘要：本发明涉及一种检测多个末端执行器异常的基板传送装置以及基板传送装置异常判断方法。基板传送装置包括：多个末端执行器在第一方向上延伸并在与第一方向交叉的第二方向上多阶段排列以分别支撑基板；间隔调节单元，其被配置为调整多个末端执行器之间的间隔；以及异常检测单元，其被配置为检测多个末端执行器中每个的异常，其中多个末端执行器可包括：位置固定的参考末端执行器；以及可变末端执行器，其相对于参考末端执行器在与参考末端执行器的距离上被调整。
主权项：1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：多个末端执行器在第一方向上延伸，并在与所述第一方向交叉的第二方向上多个阶段排列，以分别支撑基板；间隔调节单元，其被配置为调整所述多个末端执行器之间的间隔；以及异常检测单元，其被配置为检测所述多个末端执行器中每个末端执行器的异常，其中所述多个末端执行器包括：参考末端执行器，其位置固定；以及可变末端执行器，其相对于所述参考末端执行器在与所述参考末端执行器的距离上被调整。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社尤金科技 基板传送装置及基板传送装置异常判断方法
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