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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要：本公开实施例公开了判断晶圆的导电类型的方法及系统，所述方法包括：在执行热处理工艺之前对待测晶圆进行电阻率测试，获得所述待测晶圆上沿半径方向分布的多个位置分别对应的第一电阻率；在执行热处理工艺之后再次对所述待测晶圆进行电阻率测试，获得所述待测晶圆上所述多个位置中的任一位置对应的第二电阻率；基于所述多个位置分别对应的第一电阻率以及所述多个位置中的任一位置对应的第二电阻率，判断所述待测晶圆的导电类型。
主权项：1.一种判断晶圆的导电类型的方法，其特征在于，所述方法包括：在执行热处理工艺之前对待测晶圆进行电阻率测试，获得所述待测晶圆上沿半径方向分布的多个位置分别对应的第一电阻率；在执行热处理工艺之后再次对所述待测晶圆进行电阻率测试，获得所述待测晶圆上所述多个位置中的任一位置对应的第二电阻率；基于所述多个位置分别对应的第一电阻率以及所述多个位置中的任一位置对应的第二电阻率，判断所述待测晶圆的导电类型。
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权利要求：
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