龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏启微半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆传送装置，包括晶圆传送机构、多轴机器人和晶圆取放机构，其中：所述晶圆传送机构用于在晶圆交换位和多个晶圆加工位之间移动；所述多轴机器人设置于所述晶圆传送机构上，以调整晶圆取放机构的取放角度；所述晶圆取放机构设置于所述多轴机器人上以取放晶圆。本发明的晶圆传送方法通过计算晶圆加工位需求时间、晶圆传送机构来返等时间进行判断，执行后续晶圆取放动作，实现提前规划路径的功能。可以适用于一点对多点、多点对多点的晶圆传送模式，确保在单位时间能能够处理更多的晶圆传送需求，提高晶圆的传送效率。
主权项：1.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括晶圆传送机构、多轴机器人和晶圆取放机构，其中：所述晶圆传送机构用于在晶圆交换位和多个晶圆加工位之间移动；所述多轴机器人设置于所述晶圆传送机构上，以调整晶圆取放机构的取放角度；所述晶圆取放机构设置于所述多轴机器人上以取放晶圆；所述晶圆取放机构包括多个取放夹持结构，多个取放夹持结构由上往下布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏启微半导体设备有限公司 一种晶圆传送装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号