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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：一种训练扫描电子显微镜SEM图像选择方法，包括：设置SEM图像的多个图案作为样本，分别对多个训练图案执行训练以生成转换模型，通过使用转换模型将训练图案转换成多个转换后的设计图案，将多个转换后的设计图案与对应的设计图像图案进行比较以确定它们之间的未对准，对于多个训练图案中的每一个，获得作为从多个训练图案中的每一个到未对准的图案的距离的最小值的有效距离，提取具有最大有效距离的训练图案作为最佳训练图案，删除位于最佳训练图案中的最大有效距离内的样本，并确定是否所有样本都被对准。
主权项：1.一种训练扫描电子显微镜SEM图像选择方法，包括：设置SEM图像的多个图案作为样本；对多个训练图案中的每一个执行训练，以生成设计图像图案和所述多个训练图案之间的转换模型；使用所述转换模型将所述多个训练图案转换成多个转换后的设计图案；将所述多个转换后的设计图案与所述设计图像图案进行比较，以确定它们之间的未对准；对于所述多个训练图案中的每一个，获得作为从所述多个训练图案中的每一个到未对准的图案的距离的最小值的有效距离；提取所述多个训练图案中具有最大有效距离的训练图案作为最佳训练图案；删除所述样本中位于所述最佳训练图案中的所述最大有效距离内的样本；和确定是否所有的所述样本都被对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 训练SEM图像选择方法及使用该方法的SEM设备对准方法
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