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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：在一个实施例中，一种或多种非暂态机器可读介质上具有指令，当处理器执行指令时，指令被配置为执行操作，该操作包括：获取训练晶片上的第一区域的扫描电子显微镜SEM量测数据，获取训练晶片上的第二区域的光学量测数据，以及通过使用训练晶片的SEM量测数据和光学量测数据来训练模型，以基于针对生产晶片的区域的光学量测数据来生成生产晶片上的特征的参数。
主权项：1.一种或多种非暂态机器可读介质，其上具有指令，所述指令在由处理器执行时被配置为执行包括以下的操作：获取训练晶片上第一区域的扫描电子显微镜SEM量测数据；获取所述训练晶片上第二区域的光学量测数据；以及通过使用所述训练晶片的所述SEM量测数据和所述光学量测数据来训练模型，以基于针对生产晶片的区域的光学量测数据来生成所述生产晶片上的特征的参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用机器学习从光学量测数据生成SEM质量量测数据的系统和方法
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