龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请公开了尾气处理组件、镀膜设备和扩散方法。尾气处理组件包括进气管道、冷却器、过滤器、负压泵和过气管道。进气管道与工艺管连通。冷却器包括本体和冷却管道。本体具有进气口和出气口，冷却管道一端连接进气口，另一端连接进气管道。出气口与过滤器连通，在过滤器与出气口之间设置有第一阀门。过滤器与负压泵连通。过气管道的一端连接出气口，过气管道的另一端连接负压泵，过气管道设置有第二阀门。通过上述方式，本申请能够对镀膜设备的尾气进行充分处理，减少尾气处理组件堵塞的技术问题。
主权项：1.一种尾气处理组件，其特征在于，包括：进气管道，用于与工艺管连接；冷却器，所述冷却器包括本体和冷却管道，所述本体具有进气口和出气口，所述冷却管道连接所述进气口与所述进气管道；过滤器，所述出气口与所述过滤器连通，在所述过滤器与所述出气口之间设置有第一阀门；负压泵，所述过滤器与所述负压泵连通；过气管道，所述过气管道的一端连接于所述出气口，所述过气管道的另一端连接于所述负压泵，所述过气管道设置有第二阀门。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 尾气处理组件、镀膜设备和扩散方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号