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摘要：本发明涉及一种高强韧低内应力厚TiNi＆TiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层及制备方法，属于防护涂层技术领域。该涂层以合金基体为衬底，采用多弧离子镀进行多靶共沉积技术制备，由内到外包括Ti粘结层、TiAlN过渡层和TiNi＆TiAlNiNXTiAlN功能层。本发明制备的涂层总厚度为5～30μm，显微硬度为2000Hv以上。该涂层与基体结合性能优异，且涂层兼具高韧性、高硬度，低内应力、优良的抗裂纹扩展能力及抗高温氧化性能等特点，可适用于硬质合金切削刀具、以及不锈钢合金、钛合金、钛铝合金等材料的耐磨防护。
主权项：1.一种高强韧低内应力厚TiNi＆TiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层，其特征在于，以合金基体为衬底，TiNi＆TiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层由内到外包括Ti粘结层、TiAlN过渡层和TiNi＆TiAlNiNXTiAlN功能层，TiNi＆TiAlNiNXTiAlN功能层是由层厚比r为1:1≤r≤1:5的TiNi＆TiAlNiNX低内应力强韧层和TiAlN高内应力硬质层依次循环叠加构成；TiNi＆TiAlNiNXTiAlN功能层总层数n在2≤n≤20范围内可调，且总层数n为偶数项；TiNi＆TiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层中，TiNi＆TiAlNiNX低内应力强韧层为脉冲偏压调控的TiNi金属颗粒增韧TiAlNiNX复合硬质涂层；TiAlNiNX相中各元素原子比例关系为：AlTi+Al+Ni=0～0.5，NiTi+Al+Ni=0.05～0.3，X=NN+Ti+Al+Ni=0.35～0.5；TiNi相中各元素原子比例关系为：TiTi+Ni+N=0.40～0.55，NiTi+Ni+N=0.40～0.5。
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百度查询： 东北大学 中国科学院金属研究所 高强韧低内应力厚TiNi＆TiAl(Ni)NX/TiAlN复合硬质涂层及制备方法
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