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申请/专利权人：上海交通大学
摘要：本发明公开了一种基于波导中相邻衍射点距离探测入射角的探测器阵列，涉及角度测量领域。本发明包括光源、光栅结构、光栅保护层、光阑、光波导和光探测器阵列；光栅结构位于光波导一端的一个表面上，光探测器阵列位于光波导另一端的上表面或是下表面；光阑位于光波导的上表面或是下表面且位于光栅结构与光探测器阵列之间；通过测量相邻衍射点的距离计算光源的入射角及衍射角。本发明可以高精度地实现入射光角度测量；利用集成在光波导上的亚波长一维光栅结构以及布置于波导四周的超轻薄光电探测器，在超轻薄器件的基础上实现角度感知。
主权项：1.一种基于波导中相邻衍射点距离探测入射角的探测器阵列，其特征在于，包括光源、光栅结构、光栅保护层、光阑、光波导和光探测器阵列；光栅结构位于光波导一端的一个表面上，光探测器阵列位于光波导另一端的上表面或是下表面；光阑位于光波导的上表面或是下表面且位于光栅结构与光探测器阵列之间；通过测量相邻衍射点的距离计算光源的入射角及方位角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学 一种基于波导中相邻衍射点距离探测入射角的探测器阵列
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