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申请/专利权人：华东光电集成器件研究所
摘要：本申请公开了微机械传感器领域中的一种离散差分检测的Z轴MEMS加速度计，包括基片，基片上设有中心锚点；第一质量块、第二质量块，所述第一质量块、第二质量块中部铰接于所述中心锚点，第一质量块、第二质量块同侧端可相互交叉穿过；离散电极，所述离散电极设于所述中心锚点两侧的基片上并与第一质量块、第二质量块对应设置；离散电极与所述第一质量块构成第一敏感单元，所述离散电极与所述第二质量块构成第二敏感单元；本申请采用铰接的第一质量块、第二质量块将差分检测电容离散设置，每一对差分检测电容都紧邻着布置在尽可能小的基片局部，使得基片上任意局部的变形对离散设置的差分检测电容都产生近乎相同的电容变化量，以相互抵消，消除零偏。
主权项：1.离散差分检测的Z轴MEMS加速度计，其特征在于，包括基片（10），所述基片（10）上设有中心锚点（20）；第一质量块（3011）、第二质量块（3012），所述第一质量块（3011）、第二质量块（3012）中部铰接于所述中心锚点（20），所述第一质量块（3011）、第二质量块（3012）同侧端可相互交叉穿过；离散电极（308），所述离散电极（308）设于所述中心锚点（20）两侧的基片（10）上并与所述第一质量块（3011）、第二质量块（3012）对应设置；所述离散电极（308）与所述第一质量块（3011）构成第一敏感单元（30ａ），所述离散电极（308）与所述第二质量块（3012）构成第二敏感单元（30ｂ），所述第一敏感单元（30ａ）、第二敏感单元（30ｂ）互作完成离散差分检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华东光电集成器件研究所 离散差分检测的Z轴MEMS加速度计
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