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一种一阶梯度交叉耦合并联型SQUID电流传感器及制备方法 

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申请/专利权人:中国计量科学研究院

摘要:本发明公开一种一阶梯度交叉耦合并联型SQUID电流传感器及制备方法,该传感器包括:SQUID环路,为由一对槽垫圈并联形成的对称结构,每个槽垫圈由多个环路子线圈并联形成;输入线圈,为由一对输入子线圈反向串联形成的“8”字中心对称结构,每个输入子线圈与一个槽垫圈部分耦合;反馈线圈,为由一对反馈子线圈反向串联形成的“8”字中心对称结构,每个输入子线圈与一个槽垫圈部分耦合;一对约瑟夫森结,每个约瑟夫森结并联有一对电阻,且其一端与两个槽垫圈的一条并联线连接,另一端作为所述传感器输出端,每个电阻设置有一个散热片。本发明采用一阶梯度结构以提高对微小磁场变化的灵敏度和减少外部干扰,解决了外部磁场干扰、低信噪比的问题。

主权项:1.一种一阶梯度交叉耦合并联型SQUID电流传感器,所述传感器通过在具有二氧化硅外延层的硅衬底上制造形成,其特征在于,包括:SQUID环路,为由一对槽垫圈并联形成的对称结构,每个槽垫圈由多个环路子线圈并联形成;输入线圈,为由一对输入子线圈反向串联形成的“8”字中心对称结构,每个输入子线圈与一个槽垫圈部分耦合;反馈线圈,为由一对反馈子线圈反向串联形成的“8”字中心对称结构,每个输入子线圈与一个槽垫圈部分耦合;一对约瑟夫森结,每个约瑟夫森结并联有一对电阻,每个电阻设置有一个散热片。

全文数据:

权利要求:

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