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申请/专利权人：中国科学技术大学;北京智芯微电子科技有限公司
摘要：提供一种耦合增强压电微机械超声换能器及其制备方法，包括：衬底，设置有多个空腔；弹性层，制备于衬底上；压电层，采用具有各向异性的压电材料制备于弹性层上，与弹性层共同组成振膜结构；金属电极层，制备于压电层上，金属电极层包括多根主电极条，形成叉指电极结构，并且由每根主电极条引出多根分支电极条，以在相邻的主电极条组成的叉指电极对之间形成多个分别与多个空腔上下对应的电极阵元；在对叉指电极对输入不同的激励电信号时，电极阵元中的主电极条和分支电极条能够施加不同方向的耦合电场于压电层，使压电层内部产生内应力从而驱动振膜结构于空腔处发生振动。
主权项：1.一种耦合增强压电微机械超声换能器，包括：衬底，设置有多个空腔；弹性层，制备于所述衬底上；压电层，采用具有各向异性的压电材料制备于所述弹性层上，与弹性层共同组成振膜结构，所述压电层适用于在横向电场的作用下发生机械振动以发射声波信号、以及适用于在接收到的声波信号的作用下发生机械振动以发生电响应；金属电极层，制备于所述压电层上，所述金属电极层包括多根主电极条，形成叉指电极结构，并且由每根主电极条引出多根分支电极条，以在相邻的主电极条组成的叉指电极对之间形成多个分别与所述多个空腔上下对应的电极阵元；在对叉指电极对输入不同的激励电信号时，电极阵元中的主电极条和分支电极条能够施加不同方向的耦合电场于压电层，使压电层内部产生内应力从而驱动振膜结构于空腔处发生振动。
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百度查询： 中国科学技术大学 北京智芯微电子科技有限公司 耦合增强压电微机械超声换能器及其制备方法
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