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申请/专利权人：中国科学院上海高等研究院
摘要：本发明涉及一种极紫外光源装置，包括沿电子束传输方向依次设置的加速器、第一调制段、第一色散段、第二调制段、第二色散段和辐射段，第一调制段的上游设有种子激光器，加速器用于产生第一电子束，种子激光器用于产生第一和第二种子激光，第一种子激光用于使第一电子束产生第一次能量调制，得到第二电子束；第一色散段对第二电子束压缩，得到第三电子束；第二种子激光使第三电子束产生第二次能量调制，得到第四电子束；第二色散段对第四电子束压缩，得到第五电子束；辐射段用于使第五电子束产生谐波辐射，以发出千瓦量级的全相干极紫外光。本发明的极紫外光源装置，可基于低能电子束产生达千瓦量级的全相干极紫外光，成本较低且结构紧凑。
主权项：1.一种极紫外光源装置，其特征在于，包括沿电子束传输方向依次设置的加速器、第一调制段、第一色散段、第二调制段、第二色散段和辐射段，所述第一调制段和所述第二调制段的上游设有种子激光器，所述加速器用于产生满足预设要求的第一电子束，所述种子激光器用于产生纵向同步的第一种子激光和第二种子激光，所述第一电子束和所述第一种子激光共同注入所述第一调制段，以使所述第一电子束在所述第一种子激光的作用下产生第一次能量调制，得到第二电子束；所述第一色散段用于对所述第二电子束压缩，以形成第三电子束；所述第三电子束和所述第二种子激光均注入所述第二调制段，以使所述第三电子束在所述第二种子激光的作用下产生第二次能量调制，并形成第四电子束；所述第二色散段用于对所述第四电子束压缩，以形成第五电子束；所述辐射段用于使所述第五电子束产生谐波辐射，以发出千瓦量级的全相干极紫外光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海高等研究院 极紫外光源装置
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