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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：本发明提供能够在空洞部内设置了IDT的结构中使电特性稳定化的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置10具备：支承构件13，具有支承基板16；压电层14，设置在支承构件13上，具有位于支承构件13侧的第1主面14a以及与第1主面14a对置的第2主面14b；和至少1个IDT11，设置在压电层14的第1主面14a，具有多个电极指部多个第1电极指部、第2电极指部19A、19B。构成有被支承构件13以及压电层14包围的空洞部12a。至少1个IDT11的多个电极指部位于空洞部12a内。在压电层14设置有贯通孔14c，使得到达空洞部12a。在至少1个IDT11的多个电极指部中，1组电极指部之中与远离贯通孔14c的位置的电极指部的至少一部分相比接近贯通孔14c的位置的电极指部的至少一部分的厚度薄且宽度宽的尺寸关系在至少1组电极指部中成立。
主权项：1.一种弹性波装置，具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有位于所述支承构件侧的第1主面以及与所述第1主面对置的第2主面；和至少1个IDT，设置在所述压电层的所述第1主面，具有多个电极指部，所述弹性波装置构成有被所述支承构件以及所述压电层包围的空洞部，所述至少1个IDT的所述多个电极指部位于所述空洞部内，在所述压电层设置有贯通孔，使得到达所述空洞部，在所述至少1个IDT的所述多个电极指部中，1组所述电极指部之中与远离所述贯通孔的位置的电极指部的至少一部分相比接近所述贯通孔的位置的电极指部的至少一部分的厚度薄且宽度宽的尺寸关系在至少1组所述电极指部中成立。
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