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申请/专利权人：张江国家实验室
摘要：本发明提供一种纳米压印模板制备方法及光波导制备方法，其中，纳米压印模板制备方法包括如下步骤：提供表面形成有氧化硅层的衬底；对所述氧化硅层进行图形化处理，使得所述氧化硅层形成图形结构，所述图形结构具有微纳米级的尺寸；以及对形成了所述图形结构的所述衬底进行热处理，制备得到纳米压印模板。本发明的光波导制备方法利用上述纳米压印模板进行纳米压印，从而制得低损耗的光波导。
主权项：1.一种纳米压印模板制备方法，所述方法包括如下步骤：提供表面形成有氧化硅SiO2层的衬底；对所述氧化硅层进行图形化处理，使得所述氧化硅层形成图形结构，所述图形结构具有微纳米级的尺寸；以及对形成了所述图形结构的所述衬底进行热处理，制备得到所述纳米压印模板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张江国家实验室 纳米压印模板制备方法、光波导制备方法及硅光波导
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