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申请/专利权人：浙江御辰东智能科技有限公司
摘要：本发明提供一种调平系统及其调控校正方法，所述调平系统包括模头本体、模头调平机构和检测机构，所述模头本体通过所述调平机构悬于工作基台的上方，模头本体具有相互远离的第一端部和第二端部；调平机构包括并排设置的第一调节机构、第二调节机构，第一调节机构连接模头本体的第一端部；第二调节机构通过摆动机构连接模头本体的第二端部；检测机构包括控制器以及数个位移传感器，位移传感器相间隔地设置于模头本体上，位移传感器、第一调节机构、第二调节机构与控制器电性连接。本发明的有益效果是：结构简单易操作，提高重复定位精度；精度可控制在1～3μm，显著提高了模头的位置精度以及水平度数倍以上，有效提高成膜均匀性，提高电池性能。
主权项：1.一种调平系统，其特征在于，包括模头本体、模头调控机构和检测机构，所述模头本体通过所述模头调控机构悬于工作基台的上方，所述模头本体具有相互远离的第一端部和第二端部；所述模头调控机构包括并排设置的第一调节机构、第二调节机构，所述第一调节机构连接所述模头本体的第一端部；所述第二调节机构通过摆动机构连接所述模头本体的第二端部；所述检测机构包括控制器以及数个位移传感器，所述位移传感器相间隔地设置于所述模头本体上，所述位移传感器、所述第一调节机构、所述第二调节机构与所述控制器电性连接。
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权利要求：
百度查询： 浙江御辰东智能科技有限公司 一种调平系统及其调控校正方法
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