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申请/专利权人：苏州梅曼智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法，涉及晶圆领域，解决了当前在对晶圆检测内容存在局限性，且存在检测不准确的问题，方法包括：检测终端导入待测晶圆的标准规格数据，标准规格数据经服务器发送至规格检测模块；规格检测模块对待测晶圆的产品规格进行检测；综合分拣模块根据待测晶圆的规格检测结果对待测晶圆进行分拣；缺陷检测模块对待测晶圆的表面瑕疵进行检测，检测得到待测晶圆的表面瑕疵检测结果；综合分拣模块还根据待测晶圆的表面瑕疵检测结果对待测晶圆进行分拣，将待测晶圆的表面瑕疵检测转运至废件区域、产品储藏区域或晶圆加工环节，本发明是基于视觉分析实现对晶圆表面缺陷的准确检测。
主权项：1.一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法，其特征在于，方法包括：步骤S101，检测终端导入待测晶圆的标准规格数据，标准规格数据经服务器发送至规格检测模块；步骤S102，规格检测模块对待测晶圆的产品规格进行检测，得到待测晶圆的规格检测结果经服务器发送至综合分拣模块；步骤S103，综合分拣模块根据待测晶圆的规格检测结果对待测晶圆进行分拣，将待测晶圆转运至废件区域、晶圆加工环节或缺陷检测模块；步骤S104，缺陷检测模块对待测晶圆的表面瑕疵进行检测，检测得到待测晶圆的表面瑕疵检测结果经服务器发送至综合分拣模块；步骤S105，综合分拣模块还根据待测晶圆的表面瑕疵检测结果对待测晶圆进行分拣，将待测晶圆的表面瑕疵检测转运至废件区域、产品储藏区域或晶圆加工环节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州梅曼智能科技有限公司 一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法
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