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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开一种晶圆定心机构和具有其的晶圆减薄机，包括：旋转驱动机构、直线驱动机构和传感器组件；旋转驱动机构包括旋转驱动组件和承片台，承片台用于承载晶圆，旋转驱动组件用于驱动承片台转动；直线驱动机构用于驱动旋转驱动机构沿直线往复活动；传感器组件用于扫描晶圆，以获取晶圆的圆心和缺口。通过设置旋转驱动机构和直线驱动机构能够对晶圆的位置进行调整，以便传感器组件对晶圆进行扫描，以获取晶圆的圆心和缺口的位置数据，这样的设计，使得晶圆圆心的确定更加的简单快捷。
主权项：1.一种晶圆定心机构，其特征在于，包括：旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括旋转驱动组件和承片台，所述承片台用于承载晶圆，所述旋转驱动组件用于驱动所述承片台转动；直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动所述旋转驱动机构沿直线往复活动；传感器组件，所述传感器组件用于扫描所述晶圆，以获取晶圆的圆心和缺口。
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百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 晶圆定心机构和具有其的晶圆减薄机
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