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申请/专利权人：江苏纳沛斯半导体有限公司

摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，公开了一种晶圆转换装置及其晶圆转换方法，包括立架、固定安装在立架顶端的顶架、转动设置在顶架下方的转盘、通过转盘驱动转动的链条和安装在链条下方的吊杆，其特征在于：吊杆的底端安装有传输组件，且吊杆通过链条带动传输组件在顶架的下方进行输送；传输组件的内部包括有连接块，且连接块在吊杆的底端固定安装，连接块的一侧安装有电动推杆，且电动推杆的输出端连接有伸缩板。本发明中，通过传输组件与转换组件的设置，则使晶圆框可以带动大批量晶圆进行长距离、多角度的转换，便于晶圆在加工生产时在不同加工设备之间的转换，有利于提高晶圆的加工效率，并且移动方便，转换效率和转换范围广，实用性强。

主权项：1.一种晶圆转换装置，包括立架（1）、固定安装在立架（1）顶端的顶架（2）、转动设置在顶架（2）下方的转盘（3）、通过转盘（3）驱动转动的链条（4）和安装在链条（4）下方的吊杆（5），其特征在于：所述吊杆（5）的底端安装有传输组件（6），且吊杆（5）通过链条（4）带动传输组件（6）在顶架（2）的下方进行输送；所述传输组件（6）的内部包括有连接块（601），且连接块（601）在吊杆（5）的底端固定安装，所述连接块（601）的一侧安装有电动推杆（602），且电动推杆（602）的输出端连接有伸缩板（603），所述伸缩板（603）的表面对称设置有两组插杆（604），且插杆（604）在连接块（601）的内部贯穿设置；所述插杆（604）通过连接耳（606）对晶圆框（605）进行插接传输；所述传输组件（6）的下方设置有转换组件（7），且转换组件（7）在固定杆（8）的顶部设置；所述固定杆（8）的一侧设置有伸缩气缸（14），且伸缩气缸（14）在底板（9）的表面固定安装，所述伸缩气缸（14）的输出端连接有U型块（15），且U型块（15）的内部设置有第一导轮（16）；所述固定杆（8）的顶端连接有固定顶板（18），且固定顶板（18）的底端固定连接有转换皮带（17）；所述转换皮带（17）在第一导轮（16）的外壁套设，且转换皮带（17）的另一端贯穿固定顶板（18）的中部在第二导轮（21）的外壁套设；所述转换皮带（17）的另一端端部通过连接板（19）与转换组件（7）相连接，且连接板（19）在转换组件（7）的侧部固定安装。

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