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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供提高接触精度的检查装置的控制方法和检查装置。该检查装置的控制方法中，该检查装置包括：具有多层检查室排的检查部，其中上述检查室排排列有多个收纳对基片进行检查的测试器的检查室；使基片接触到上述测试器的多个对准器，其在上述检查室排至少设置一个；和控制上述对准器的控制部，在一个上述对准器进行对准时，上述控制部限制其它上述对准器的动作。
主权项：1.一种检查装置的控制方法，其特征在于，包括：所述检查装置包括：具有多层检查室排的检查部，其中所述检查室排排列有多个收纳对基片进行检查的测试器的检查室；使基片接触到所述测试器的多个对准器，其在所述检查室排至少设置一个；和控制所述对准器的控制部，所述控制部具有第一动作模式和第二动作模式，在所述第一动作模式中，对多个对准器分别单独地进行控制，在所述第二动作模式中，在一个所述对准器进行对准时，限制其它所述对准器在所述检查室之间移动，在对准结束时，解除对其它所述对准器在所述检查室之间移动的限制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查装置的控制方法和检查装置
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