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摄像元件和摄像装置 

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申请/专利权人:索尼公司;索尼半导体解决方案公司

摘要:本公开的实施例的摄像元件包括:半导体基板,其具有彼此相对的一个表面和另一个表面,并具有在一个表面和另一个表面之间贯通的通孔;第一光电转换单元,其设置在半导体基板的一个表面上方;贯通电极,其与第一光电转换单元电连接,并在通孔内贯通半导体基板;第一电介质膜,其设置在半导体基板的一个表面上并具有第一膜厚;以及第二电介质膜,其设置在通孔的侧面上,并具有小于第一膜厚的第二膜厚。

主权项:1.一种摄像元件,其包括:半导体基板,其具有彼此相对的一个表面和另一个表面,所述半导体基板具有在所述一个表面和所述另一个表面之间贯通的通孔;第一光电转换器,其设置在所述半导体基板的所述一个表面上方;贯通电极,其电连接到所述第一光电转换器,所述贯通电极在所述通孔内贯通所述半导体基板;第一电介质膜,其设置在所述半导体基板的所述一个表面上,所述第一电介质膜具有第一膜厚;以及第二电介质膜,其设置在所述通孔的侧面上,所述第二电介质膜具有第二膜厚,所述第二膜厚小于所述第一膜厚。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 索尼公司 索尼半导体解决方案公司 摄像元件和摄像装置

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