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申请/专利权人：田中贵金属工业株式会社
摘要：本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体L1和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示，[化学式1]RuL1CO3[化学式2]在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
主权项：1.一种化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜，其由三亚甲基甲烷系配体L1和3个羰基配体与2价的钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物构成，[化学式1]RuL1CO3在上述化学式1中，三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示，[化学式2] 在上述化学式1的式子中，配体L1的取代基R为下述基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的烷基、碳原子数为3以上9以下的环状烷基、碳原子数为2以上8以下的直链或支链的烯基、碳原子数为2以上8以下的直链或支链的炔基、碳原子数为2以上8以下的直链或支链的氨基、碳原子数为6以上9以下的芳基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 田中贵金属工业株式会社 由有机钌化合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法
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