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申请/专利权人：吾拾微电子(苏州)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种可调平的键合设备，包括：驱动件；上压板组件和下压板组件，上压板组件适于与驱动件的输出轴连接，以在驱动件的作用下与下压板组件抵靠或远离；调平机构，包括连接板、抵接在连接板与上压板组件之间的球形压头、以及三个锁紧件，每个锁紧件与上压板组件可调节连接，施加作用力至锁紧件，以使得锁紧件具有锁紧状态和松弛状态；其可以在该键合设备进行键合操作之前，驱动件驱动球形压头抵压上压板组件，使得上压板组件与下压板组件之间保持水平，完成调平操作后，通过操作锁紧件使得从松弛状态切换至锁紧状态，以实现对键合设备的调平操作，进而保证后续键合设备在对晶圆进行键合时的水平度，提高晶圆键合质量。
主权项：1.一种可调平的键合设备，其特征在于，包括：驱动机构，包括驱动件；压板机构，包括上压板组件和下压板组件，所述上压板组件适于与所述驱动件的输出轴连接，以在所述驱动件的作用下与所述下压板组件抵靠或远离，所述键合设备键合时，所述上压板组件和下压板组件的其中一个部分与晶圆接触，另一个与载片接触；其中，所述键合设备还包括连接所述驱动件与所述上压板组件的调平机构，所述调平机构能够保证所述上压板组件与下压板组件抵靠时的水平度；所述调平机构包括连接板、抵接在所述连接板与所述上压板组件之间的球形压头、以及三个锁紧件，每个所述锁紧件与所述上压板组件可调节连接，施加作用力至所述锁紧件，以使得所述锁紧件具有锁紧状态和松弛状态；调平时，所述锁紧件处于松弛状态，所述驱动件驱动所述球形压头抵压所述上压板组件，使得所述上压板组件与下压板组件保持水平；调平后，操作所述锁紧件从松弛状态切换至锁紧状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吾拾微电子(苏州)有限公司 可调平的键合设备
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