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真空装置对接设备及真空处理系统 

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申请/专利权人:费勉仪器科技(南京)有限公司

摘要:本公开涉及真空设备技术领域,具体涉及一种真空装置对接设备及真空处理系统。真空装置对接设备,包括:支架框架,至少一根纵向导轨,沿纵向设置在支架框架上;至少一个纵向滑块,滑动设置在至少一根纵向导轨上;安装板,近端表面与至少一个纵向滑块固定连接,以在至少一根纵向导轨上滑动;自锁绞盘,包括绳索,绳索与安装板连接,带动安装板在至少一根纵向导轨上滑动;以及托盘,与安装板连接,用于承载真空装置。

主权项:1.一种真空装置对接设备,其特征在于,包括:支架框架,至少一根纵向导轨,沿纵向设置在所述支架框架上;至少一个纵向滑块,滑动设置在所述至少一根纵向导轨上;安装板,近端表面与所述至少一个纵向滑块固定连接,以在至少一根纵向导轨上滑动;自锁绞盘,包括绳索,所述绳索与所述安装板连接,带动所述安装板在所述至少一根纵向导轨上滑动;以及托盘,与所述安装板连接,用于承载真空装置。

全文数据:

权利要求:

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