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激光划片设备 

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申请/专利权人:宁波芯丰精密科技有限公司

摘要:本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种激光划片设备,包括两个料台、两个承托机构、移料机构和加工组件,两个料台在第一方向间隔设置,两个料台的料口相向设置,料台被配置为容纳料片,两个承托机构在第一方向间隔设置,位于两个料台之间,承托机构上设置有承托面,承托面能够沿第二方向在移料位置和加工位置之间移动,第二方向垂直于第一方向,移料机构设置于两个料台之间。移料机构将料片从料盒中取出,并将其放置在承托面上,承托机构带动料片靠近加工组件,加工组件对料片进行加工作业,两个承托机构与加工组件相配合,交替加工,两个料台相配合,实现交替自动上料,节约了等待上料的时间,集成度高,提高了加工效率。

主权项:1.激光划片设备,其特征在于,包括:两个料台1,在第一方向间隔设置,两个所述料台1的料口相向设置,所述料台1被配置为容纳料片100;两个承托机构2,在所述第一方向间隔设置,位于两个所述料台1之间,所述承托机构2上设置有承托面,所述承托面被配置为承托所述料片100,所述承托面能够沿第二方向在移料位置和加工位置之间移动,所述第二方向垂直于所述第一方向;移料机构3,设置于两个所述料台1之间,所述承托面移动至所述移料位置处时,所述移料机构3能够将所述料台1中的所述料片100移动至所述承托面上;加工组件4,能够沿所述第一方向在所述加工位置处的两个所述承托机构2之间移动,所述承托面承载所述料片100移动至所述加工位置时,所述加工组件4能够对所述料片100进行激光划片作业。

全文数据:

权利要求:

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