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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了用于增加具有离子的低角分散的峰值离子能量的系统和方法。在所述系统中的一者中，耦合到与等离子体室相关联的上电极的多个射频RF发生器在两种不同状态例如，两种不同频率电平下操作，以使RF发生器的脉冲发生。RF发生器的脉冲发生有利于将一种状态期间的离子能量转移到另一种状态，以在该另一种状态期间增加离子能量，从而进一步提高加工衬底的速度。
主权项：1.一种用于使主要射频RF信号和次要RF信号脉冲化的方法，其包括：在与第一状态相关联的第一主要频率电平和与第二状态相关联的第二主要频率电平之间使所述主要RF信号脉冲化，其中所述第二主要频率电平与所述第一主要频率电平不同；以及在与所述第一状态相关联的第一次要频率电平和与所述第二状态相关联的第二次要频率电平之间使所述次要RF信号脉冲化，其中所述第二次要频率电平与所述第一次要频率电平不同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于实现具有低角分散的峰值离子能量增强的系统和方法
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