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申请/专利权人：堀场(法国)有限公司

摘要：本发明涉及一种反射衍射光栅，包括至少一个中间金属层14，该中间金属层布置在外反射层13与包括光栅线11的衬底的表面10之间，外反射层13由第一金属和金属合金形成，并且中间金属层14由另一金属形成，另一金属具有大于第一金属或金属合金的电子‑声子耦合系数的电子‑声子耦合系数，外反射层13具有在具有由第一金属的反射系数确定的下限和由第一金属的热扩散长度确定的上限的范围内的厚度，以及中间金属层14具有大于最小值的另一厚度，以增加反射衍射光栅对具有高峰值能量的超短脉冲光通量的抵抗力。

主权项：1.一种高峰值能量超短脉冲耐光通量反射衍射光栅，所述衍射光栅包括形成在衬底（1）的表面（10）上的光栅线（11）和外反射层（13），其特征在于，所述衍射光栅包括至少一个中间金属层（14），所述中间金属层（14）布置在所述外反射层（13）与包括所述光栅线（11）的衬底表面（10）之间，并且所述衍射光栅包括粘合层（2），所述粘合层（2）布置在包括所述光栅线（11）的所述衬底的表面上，所述粘合层（2）布置在衬底表面和所述中间金属层（14）之间，所述粘合层（2）具有小于25纳米的厚度，所述外反射层（13）具有与所述中间金属层（14）的交界面，所述中间金属层（14）是覆盖所述光栅线（11）的表面的连续二维层，所述外反射层（13）是覆盖所述中间金属层（14）的连续二维层，所述外反射层（13）由第一金属构成，并且所述中间金属层（14）由另一金属构成，所述另一金属具有比所述第一金属的电子-声子耦合系数高的电子-声子耦合系数，所述外反射层（13）的厚度在100nm至500nm之间，所述外反射层（13）的厚度在具有由所述第一金属的反射系数确定的下限和由所述第一金属的热扩散长度确定的上限的范围内，以及所述中间金属层（14）的厚度在20nm至250nm之间，所述中间金属层（14）的厚度i和所述外反射层（13）的厚度r之间的比率在0和1之间，并且其中，所述中间金属层（14）和所述外反射层（13）的比率ir和厚度被优化，以增加所述反射衍射光栅的高峰值能量超短脉冲光通量抵抗力，其中，所述另一金属选自镍、铜、钼、铬、银或银-铱合金。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 堀场(法国)有限公司 抗高峰值能量超短脉冲光通量的反射衍射光栅及其制造方法