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研磨垫用修整器、修整方法、研磨方法以及工件的制造方法 

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申请/专利权人:株式会社则武

摘要:本发明提供一种赋予研磨垫更高的平坦度的新颖的修整器。一种修整器,其为研磨用的垫表面的修整器,其中,具备与垫表面对置的直径DCD的圆形的修整面以及配置于该修整面的颗粒,颗粒共用修整面的中心且配置于直径PCDn的圆周区域,配置于圆周区域的颗粒的面积率为规定的1型、2型和3型中的任一种。

主权项:1.一种修整器,其为研磨用的垫表面的修整器,其中,具备与所述垫表面对置的直径DCD的圆形的修整面以及配置于该修整面的颗粒,所述颗粒共用所述修整面的中心且配置于直径PCDn的圆周区域,配置于所述圆周区域的所述颗粒的面积率为下述表1的1型、2型和3型中的任一种,[表1]

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社则武 研磨垫用修整器、修整方法、研磨方法以及工件的制造方法

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