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申请/专利权人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种靶材加工用抛光设备，属于靶材加工技术领域，其包括：基座；夹具，所述夹具用于装夹靶材并控制其旋转，所述夹具设置在所述基座的顶部；校准机构，用于校准靶材的装夹平整度，所述校准机构包括第一电动推杆、平移座、升降台和旋转台，所述第一电动推杆固定安装在所述基座的内部，且所述平移座固定连接在所述平移座的一侧，所述平移座的顶部固定安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端固定连接在所述升降台的底部，且所述升降台的顶部固定连接有固定轴。本发明能够在抛光前和抛光过程中对靶材的装夹平整度进行检测和校准，并能够在抛光完成后检测抛光效果，从而保证抛光精细度。

主权项：1.一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，包括：基座（1）；夹具，所述夹具用于装夹靶材并控制其旋转，所述夹具设置在所述基座（1）的顶部；校准机构，用于校准靶材的装夹平整度，所述校准机构包括第一电动推杆（501）、平移座（5）、升降台（8）和旋转台（9），所述第一电动推杆（501）固定安装在所述基座（1）的内部，且所述平移座（5）固定连接在所述平移座（5）的一侧，所述平移座（5）的顶部固定安装有第二电动推杆（801），所述第二电动推杆（801）的输出端固定连接在所述升降台（8）的底部，且所述升降台（8）的顶部固定连接有固定轴（12），所述旋转台（9）转动套接在所述固定轴（12）的外侧，所述旋转台（9）的顶部固定安装有水箱（7），所述水箱（7）的一侧固定安装有压缩筒（11），所述压缩筒（11）的内部滑动安装有活塞板（1101），所述活塞板（1101）的一侧固定连接有检测杆（1102），所述检测杆（1102）的另一端固定连接有球形罩（1103），所述球形罩（1103）内部设置有滚珠（1104）；抛光机构，所述抛光机构包括固定板（23）、第一横板（21）、第二横板（22）、安装架（601）和抛光轮（6），所述抛光轮（6）转动安装在所述安装架（601）内，且所述第一横板（21）的右侧铰接有滑板（24），所述滑板（24）滑动连接在所述安装架（601）的左侧，所述第二横板（22）铰接在所述安装架（601）的左侧，且所述固定板（23）的固定安装在所述旋转台（9）的顶部，且所述固定板（23）的一侧开设有两个横向孔，所述第一横板（21）和第二横板（22）分别滑动连接在对应的所述横向孔内。

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