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申请/专利权人：苏州赛森电子科技有限公司
摘要：本申请公开了一种PECVD机台晶圆检测设备，涉及半导体制造设备技术领域，包括：腔体；机械手，透视镜，支撑架，调节架，光纤传感器，光纤传感器和调节架相连接，光纤传感器设置于调节架的侧面；反光板，反光板设置于腔体内，反光板和腔体内的底端相连接，位于光纤传感器的下方；半透明材质晶圆的检测通过机械手夹持，移动至光纤传感器的下方，光纤传感器射出光线穿过半透明材质晶圆，反光板对光线进行反射至光纤传感器，光纤传感器对反射后的光线进行检测，完成半透明材质晶圆的检测，解决了现有设备无法对半透明材质的晶圆进行检测的问题，可以对半透明材质的晶圆进行检测。
主权项：1.一种PECVD机台晶圆检测设备，包括：腔体；机械手，所述机械手设置于所述腔体内，所述机械手用于晶圆的传输；透视镜，所述透视镜设置于所述腔体上方，和所述腔体固定连接；支撑架，所述支撑架和所述透视镜固定连接，所述支撑架设置于所述透视镜的上方；调节架，所述调节架和所述支撑架相连接，所述调节架设置于所述支撑架的侧面；其特征在于，光纤传感器，所述光纤传感器和所述调节架相连接，所述光纤传感器设置于所述调节架的侧面，所述光纤传感器用于发射光线并对光线进行检测；反光板，所述反光板设置于所述腔体内，所述反光板和所述腔体内的底端相连接，位于所述光纤传感器的下方，所述反光板用于反射光线；半透明材质晶圆的检测通过所述机械手夹持，移动至所述光纤传感器的下方，所述光纤传感器射出光线穿过半透明材质晶圆，所述反光板对光线进行反射至所述光纤传感器，所述光纤传感器对反射后的光线进行检测，完成半透明材质晶圆的检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州赛森电子科技有限公司 一种PECVD机台晶圆检测设备
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