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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明公开了一种WAT测试机台的保护结构包括：保护电阻。保护电阻和WAT测试机台的Force端电缆线相串联。述保护电阻用于在WAT测试机台的测试回路出现最大故障信号时对WAT测试机台的机台硬件进行保护。最大故障信号为电流信号或电压信号。保护电阻根据所要保护的所述机台硬件的容限进行设置，使得最大故障信号产生时将最大故障信号降低到容限之下。本发明还公开了一种WAT测试机台的保护方法。本发明能对WAT测试中机台硬件和探针卡进行保护。
主权项：1.一种WAT测试机台的保护结构，其特征在于，包括：保护电阻；所述保护电阻和WAT测试机台的Force端电缆线相串联；所述保护电阻用于在WAT测试机台的测试回路出现最大故障信号时对所述WAT测试机台的机台硬件进行保护；所述最大故障信号为电流信号或电压信号；所述保护电阻根据所要保护的所述机台硬件的容限进行设置，使得所述最大故障信号产生时将所述最大故障信号降低到所述容限之下。
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权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 WAT测试机台的保护结构和方法
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