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摘要：本发明属于晶圆上下料技术领域，具体的说是一种应用于研磨机台的晶圆上下料装置，包括工作台，所述工作台的内部开设有第一腔体，所述第一腔体的中部固接有底板，所述工作台的一侧滑动连接有若干个固定箱，所述固定箱用于存放晶圆圆片，所述第一腔体内设置有机械臂，每两个所述支撑板之间均转动连接有固定轴，每两个所述固定轴之间均转动连接有传送带，若干个所述传送带用于对晶圆圆片的传送，通过设置喷涂件和转动辊，解决了在对晶圆圆片进行转运的过程中，传送带会与晶圆发生一定的相对摩擦，导致晶圆的表面产生划痕，划痕会在晶圆表面形成微小的凹坑或线条，导致晶圆表面的平整度下降，因此产生晶圆圆片成品率和质量降低的问题。

主权项：1.一种应用于研磨机台的晶圆上下料装置，包括工作台（1），所述工作台（1）的内部开设有第一腔体（11），所述第一腔体（11）的中部固接有底板（12），所述工作台（1）的一侧滑动连接有若干个用于存放晶圆圆片的固定箱（15），所述第一腔体（11）内设置有用于晶圆圆片转运的机械臂，所述底板（12）的上表面设置有若干个支撑板（13），每两个所述支撑板（13）之间均转动连接有固定轴（16），每两个所述固定轴（16）之间均转动连接有传送带（14），若干个所述传送带（14）用于对晶圆圆片的传送，其特征在于：所述第一腔体（11）的内部设置有喷涂组件，所述喷涂组件包括固接在第一腔体（11）内壁两侧的两个第一导轨（2），两个所述第一导轨（2）的上方设置有喷涂件，所述喷涂件用于对传送带（14）喷涂聚合物薄膜，两个所述第一导轨（2）彼此靠近的一侧均开设有第一导槽（21），两个所述第一导槽（21）内滑动连接有同一个第一导板（22），所述第一导板（22）的下表面转动连接有转动辊（28），所述转动辊（28）用于对聚合物薄膜均匀涂覆；所述喷涂件包括固接在每个第一导块上表面的第二导块（214），每个所述第二导块（214）的上表面均开设有第二导槽（215），两个所述第二导槽（215）的上表面滑动连接有同一个第二导板（216），所述第二导板（216）的上表面固接有连接箱（315），所述连接箱（315）的一侧固接有压力泵（217），所述第一导板（22）的一侧固接有若干个喷口（213），所述第一导板（22）与第二导板（216）相连通；所述喷涂件的一侧设置有加注件，所述加注件包括固接在工作台（1）一侧的储存箱（3），所述储存箱（3）内储存有聚合物薄膜液体，所述储存箱（3）用于向连接箱（315）内加注聚合物薄膜液体；所述工作台（1）的一侧固接有支撑台（32），所述支撑台（32）的上表面固接有储存箱（3），所述储存箱（3）的一侧固接有液压管（31），所述连接箱（315）的一侧固接有固定框（34），所述固定框（34）的上表面开设有第二连接孔（39），所述液压管（31）能够插进第二连接孔（39）内。

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