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研磨垫及研磨加工物的制造方法 

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摘要:研磨垫,其具有研磨层、和设置于该研磨层的开口的终点检测窗,在拉伸模式、频率1.6Hz、30~55℃、及浸水状态的条件下进行的动态粘弹性测定中,40℃时的前述终点检测窗的储能模量E’w40与40℃时的前述研磨层的储能模量E’p40之比E’p40E’w40为0.70~3.00。

主权项:1.研磨垫,其具有研磨层、和设置于该研磨层的开口的终点检测窗,在拉伸模式、频率1.6Hz、30~55℃、及浸水状态的条件下进行的动态粘弹性测定中,40℃时的所述终点检测窗的储能模量E’w40与40℃时的所述研磨层的储能模量E’p40之比E’p40E’w40为0.70~3.00。

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