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摘要：一种研磨垫及其制造方法以及研磨方法，所述研磨垫包括研磨层以及至少一检测窗，至少一检测窗位于研磨层中，其中所述至少一检测窗包括中心部以及环绕所述中心部的包覆部，所述包覆部接合于所述研磨层，且所述中心部的面积与所述包覆部的面积的比值介于约0.03到约5.00。
主权项：1.一种研磨垫，包括：研磨层；以及至少一检测窗，位于所述研磨层中，其中所述至少一检测窗包括中心部以及环绕所述中心部的包覆部，所述包覆部接合于所述研磨层，且所述中心部的面积与所述包覆部的面积的比值介于约0.03到约5.00。
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百度查询： 智胜科技股份有限公司 研磨垫及其制造方法以及研磨方法
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