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摘要：一种堆叠结构包含聚合物层和金属层。所述金属层安置在所述聚合物层上。所述聚合物层的表面上的毛刺长度为约0.8μm到约150μm，且所述金属层的表面上的毛刺长度为约0.8μm到约7μm。
主权项：1.一种MEMS封装结构的堆叠结构，其包括：聚合物层；以及金属层，其安置在所述聚合物层上；其中所述聚合物层的表面上的毛刺长度为0.8μm到150μm，且所述金属层的表面上的毛刺长度为0.8μm到7μm。
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百度查询： 日月光半导体制造股份有限公司 堆叠结构及其制造方法
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