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研磨用带盒 

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摘要:本发明公开一种研磨用带盒。根据本发明的一个方面,提供一种研磨用带盒,该研磨用带盒在为了进行研磨而配置并使用于研磨装置等时能够安装于其它装置而被更换。

主权项:1.一种研磨用带盒(100),其保管用于研磨基板中的缺陷的带(330),其特征在于,包括:第一轮(320),其包括用于与研磨装置(130)结合的第一结合构造,上述带(330)安放于上述第一轮(320);第二轮(325),其包括用于与上述研磨装置(130)结合的第二结合构造而接受从外部提供的旋转力,上述带(330)的末端固定于上述第二轮;第一固定部(340),其与上述第一轮(320)结合而防止上述带(330)从上述第一轮(320)脱离;第二固定部(350),其与上述第二轮(325)结合而防止上述带(330)的末端从上述第二轮(325)脱离;张力条(370),其用一个面与上述第一固定部(340)及上述第二固定部(350)接触,并用另一个面与上述研磨用带盒(100)的壳体(200)接触,以防止上述第一固定部(340)和上述第二固定部(350)脱离;以及上述壳体(200),其包括:在与上述研磨装置(130)结合时朝向该研磨装置(130)的第一面、在上述壳体(200)中与上述第一面对置并与盒更换装置结合时朝向该盒更换装置的第二面、位于上述第一面和上述第二面的的两侧的第三面、以及位于上述壳体(200)的底面的第四面,上述第一面包括:分别用于安放上述第一轮(320)和上述第二轮(325)的多个槽部(310、315)以及为了研磨上述基板中的缺陷而对上述带(330)进行加压的上述研磨装置(130)所能够进入的进入槽(250),上述壳体(200)还包括:第一结合孔(210),其是形成于上述第三面的远离上述第四面的一侧而用于与盒更换装置内的传送单元结合的构造,与上述传送单元结合而能够使上述研磨用带盒(100)整体通过上述传送单元得到传送;第一固定孔(220),其形成于上述第二面,且与上述盒更换装置结合而使上述盒更换装置能够固定上述研磨用带盒(100);第二固定孔(240),其形成于上述第一面,与上述研磨装置(130)结合而能够使上述研磨装置(130)固定上述研磨用带盒(100),从而防止上述研磨用带盒(100)在研磨过程中脱离;第一安放孔(230),其是形成于上述第三面的靠近上述第四面的一侧的构造,并与上述盒更换装置中的安放单元结合而安放于安放单元;以及第二安放孔(260),其是形成于上述第四面的构造,并能够使上述研磨用带盒(100)安放于上述盒更换装置中的托盘,在上述第四面的一侧形成两个以上的上述第二安放孔(260)并在另一侧仅形成一个上述第二安放孔(260),从而即使并不非要逐个准确地确认方向也能够将上述研磨用带盒(100)配置到托盘,上述第一结合构造包括使上述研磨装置(130)的固定单元进入的多个第一进入孔(410),上述第二结合构造包括使上述研磨装置(130)的动力单元进入而施加旋转力的多个第二进入孔(415),各上述第二进入孔(415)的末端形成为逐渐变窄以使上述动力单元能够顺利地进入,由于上述动力单元接受所提供的动力而主动地改变位置,因此,上述第二进入孔(415)与上述第一进入孔(410)相比以相对小的面积具体实现。

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