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基于micro-LED的肤色检测装置及其制备方法 

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申请/专利权人:复旦大学

摘要:本发明公开了一种基于micro‑LED的肤色检测装置,包括发射模块、探测模块和驱动模块,其中,发射模块和探测模块分别为在同一InGaNGaN外延片上生长制备的第一micro‑LED阵列、第二micro‑LED阵列。第一micro‑LED阵列中各像素单元的尺寸小于第二micro‑LED阵列中各像素单元的尺寸,驱动模块可以向第一micro‑LED阵列施加正向偏置电压,以便发射模块发出光信号,驱动模块可以向第二micro‑LED阵列施加负向偏置电压,以便探测模块通过检测经过皮肤反射后的光信号强度,得到光电流大小。该装置可以对不同部位的皮肤颜色进行实时检测。

主权项:1.一种基于micro-LED的肤色检测装置,包括发射模块、探测模块和驱动模块,其特征在于,所述发射模块和探测模块分别为在同一InGaNGaN外延片上生长制备的第一micro-LED阵列、第二micro-LED阵列,所述发射模块和探测模块被封装在柔性透明电路板上,所述发射模块和探测模块之间间隔预定距离,所述第一micro-LED阵列包括多个第一尺寸的像素单元,所述第二micro-LED阵列包括多个第二尺寸的像素单元,所述第一尺寸小于第二尺寸,所述第一尺寸为60-100μm,所述第二尺寸为200-300μm,所述预定距离为1-2mm,所述驱动模块适于向所述发射模块施加正向偏置电压,以便所述发射模块发出光信号;所述驱动模块适于向探测模块施加负向偏置电压,以便所述探测模块通过检测经过皮肤反射后的光信号强度,得到光电流大小;所述基于micro-LED的肤色探测装置的制备方法包括:在InGaNGaN外延片表面沉积ITO电流扩展层;在所述电流扩展层表面刻蚀预定数量的第一尺寸像素单元和第二尺寸像素单元,形成第一台面结构,所述第一尺寸小于第二尺寸;在所述第一台面结构上沉积绝缘层,并在所述绝缘层上进行开孔,得到第二台面结构;在所述第二台面结构上沉积金属层,以便在开孔处形成P电极和N电极,得到micro-LED阵列器件;将所述micro-LED阵列器件转移到柔性透明衬底上,并在柔性透明衬底上沉积金属层,得到柔性micro-LED阵列器件,其中包括:通过湿法腐蚀腐蚀掉micro-LED阵列器件的衬底,使器件由锚结构固定;在柔性透明衬底上点滴紫外固化胶;用预先制作的PDMS转移头与micro-LED阵列器件充分接触并断裂固定器件的锚结构,使器件粘附在PDMS转移头上;将粘附器件的PDMS转移头对准柔性透明衬底上的紫外固化胶,使器件脱离PDMS转移头;紫外光照射紫外固化胶,使器件打印至柔性透明衬底上;在柔性透明衬底表面旋涂光刻胶,经紫外光照射第二掩模板,沉积金属层形成正电极和负电极,得到柔性micro-LED阵列器件。

全文数据:

权利要求:

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