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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了高速线扫描激光暗场散射晶圆表面缺陷检测装置及其方法，激光器发出的一束光改变其偏振态后入射到线阵扫描器件上，线阵扫描器件将准直入射光转变成线光束；聚焦镜头将线光束聚焦到晶圆表面上并将线光束转变为扫描激光束，聚焦激光点在晶圆表面上进行线扫描；表面反射后的光束沿反射角被反射光收集器吸收；产生的散射光进入到散射光收集装置中，散射光收集装置内壁涂有高反层，多次反射后非常均匀地分布在收集器内部然后被光电倍增管接收转化为电信号。本发明能够实现对晶圆表面缺陷的快速检测，提高了检测精度和灵敏度。
主权项：1.高速线扫描激光暗场散射晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，包括：激光器，用以发射激光束，所述激光器后方设有半波片；扩束镜，所述扩束镜设在半波片后方，所述扩束镜与激光器之间设有第一反射镜和第二反射镜，所述扩束镜后设有平顶光束整形器，所述平顶光束整形器后方设有变形棱镜组；线阵扫描器件，所述线阵扫描器件设在变形棱镜组后方，所述线阵扫描器件与变形棱镜组之间设有第三反射镜，所述线阵扫描器件后方设有光电二极管；聚焦镜头，所述聚焦镜头设在线阵扫描器件后方，聚焦镜头将线光束转变为扫描激光束，汇聚到被测晶圆表面上；反射光收集器，所述反射光收集器设在被测晶圆后方；散射光收集器，设置于被测晶圆表面上方，位于聚焦镜头及反射光收集器之间，为中空结构，散射光收集器底部和上方设有缺口，所述散射光收集器底部缺口中心正对激光束汇聚的被测晶圆表面位置的正上方，所述散射光收集器内设有散射光挡板，所述散射光挡板位于散射光收集器上方缺口的正下方，所述散射光收集器上方缺口设有光电倍增管，所述光电倍增管底部管口设有滤光片；其中，后方均指激光束照射的方向；所述散射光收集器下方设有晶圆移动装置，控制晶圆在X和Y方向上移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 高速线扫描激光暗场散射晶圆表面缺陷检测装置及其方法
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